实现最大性能
可提高过程能力且减少微痕的数据存储cmp过滤
通过控制浆料颗粒的形状、尺寸和浓度,我们的cmp过滤器可实现更高产率,减少缺陷。采用我们行业领先的过滤器设计,可将浆料颗粒尺寸、形状和大颗粒(lpc)密度控制在规定的工艺参数范围内。
有效过滤可减少缺陷和工艺偏离,从而减少微痕。我们的专家将充分利用现场过滤方案,通过正确实施延长浆料寿命和浆料分布系统寿命。我们的cmp过滤器具有连续的异形微孔结构,可实现内置预过滤和,延长工作寿命。
应用:
浆料过滤器通常位于硬盘抛光系统中的2个位置:浆料再循环回路中和使用点(pou)处,其中囊式过滤器安装在抛光工具附近。颇尔公司提供用于大型和pou应用的各种滤材和结构,使基材/滤材生产商能够满足超光滑晶圆的要求。颇尔过滤器可根据工作压力和浆料化学特性进行定制。通过使用颇尔cmp过滤系统,可以实现工艺稳定性。
优点:
- 提高工艺控制和稳定性
- 提高面积/工艺效率
- 延长浆料寿命
- 减少微痕
通过清除污染物和控制浆料尺寸、形状和化学性质,我们的cmp过滤器可提高任何cmp工艺。请联系颇尔专家,了解优化您的cmp浆料过滤,实现最大的工艺效果。
有关提高工艺效率的更多信息,请联系欧洲杯线上买球的过滤专家团队。
我们的产品
我们行业领先的产品欧洲杯线上买球的解决方案可满足您客户的需求
实现最大性能
可提高过程能力且减少微痕的数据存储cmp过滤
让我们一起寻找正确的欧洲杯线上买球的解决方案。
让我们合作。我们想立即与您分享我们的创新过滤欧洲杯线上买球的解决方案。请联系欧洲杯线上买球经验丰富的主题专家,了解我们为您提供帮助。谢谢,我们将尽快协助您。
thank you
we will get in touch with you very shortly.